激光干涉儀的校準(zhǔn)與精度驗證?以及功能及調(diào)整
點擊次數(shù)：1837 更新時間：2020-02-11
激光干涉儀，即是一種以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量的工具。今天，以下是關(guān)于它的校準(zhǔn)與精度驗證以及功能及調(diào)整敘述。
激光干涉儀的校準(zhǔn)與精度驗證如下：
激光干涉儀在購置投入使用前應(yīng)進(jìn)行關(guān)鍵性能的驗證。且隨著使用年限的增加，激光干涉儀(包括環(huán)境補償系統(tǒng))的性能可能會因老化或使用不當(dāng)出現(xiàn)衰退，對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統(tǒng)的關(guān)鍵性能參數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保在精密測量應(yīng)用中獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。
根據(jù)國家計量檢定規(guī)程的要求，需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環(huán)境補償傳感器進(jìn)行定期校準(zhǔn)。
激光干涉儀的功能及調(diào)整如下：
1、可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。
2、具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準(zhǔn)機床的回轉(zhuǎn)軸。
3、內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種不同的機床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
4、具有動態(tài)測量及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。
